玻璃化学蚀穴抑制装置

玻璃化学蚀穴抑制装置

在液晶玻璃基板的薄型化加工中，有两种代表性的工艺，分别为“机械研磨”和“化学研磨”。

最近，从对玻璃基板加工处理的生产节拍优越性的视角出发，化学研磨成为主流。

化学研磨有多种方式，本公司结合日趋大型化的液晶玻璃基板，基于在平放玻璃基板的状态下进行输送的单片方式进行化学研磨装置的设计和制造。

玻璃化学蚀穴抑制装置的规格示例

玻璃化学蚀穴抑制装置的制造实况

玻璃蚀穴产生的机理

如果在有原始划痕和凹痕的状态下进行化学研磨，则原始划痕和凹痕会成长成为蚀穴。

通过实施NSC独特的蚀穴抑制处理【NP处理】，可以抑制该情况的发生。

蚀穴发生机制与NSC独特抑制处理

通过化学研磨工艺，研磨至目标板厚后，由于下述原因之一，有时会需要进行机械研磨，同时也是抑制蚀穴的对策。

但是，几乎在所有情况下，全数进行机械研磨都不能满足批量生产的产量需要。

另外，即使仅以修复为目的进行机械研磨，由于蚀穴不良发生率的不同，机械研磨可以完成的生产量也毕竟有限，则存在延误交货期的风险。

综上所述，我们认为本公司的玻璃基板蚀穴抑制装置【NP】有助于客户改善玻璃薄型化加工的生产效率。