涂布装置

PHOTO LITHOGRAPHY光刻技术

涂布装置

目录(单击可向下跳转)

涂布装置

什么是
涂布装置?

more

浸涂机

浸涂机

more

喷涂机

喷涂机

more

 

什么是涂布装置?

 

光处理工序示例

 

是在玻璃、半导体晶片、金属薄膜等基材上,对涂敷象物进行制膜的装置,其方法大致分为湿式涂布和干式涂布。

 

【湿式涂布】是涂布光刻胶液或热熔粘接材料等液体材料的方法,代表性的装置列举如下。

 

  • ・浸涂机
  • ・喷涂机
  • ・悬涂机
  • ・辊涂机
  • ・狭缝涂布机

 

 

【干式涂布】是一种在真空中制膜的方法,有蒸镀装置和喷涂装置。

 

本公司至今为止制造了很多湿法类光刻胶涂布装置。不仅仅是涂布装置,我们同时从事配套前处理装置及投入/取出装置的复合生产线的制造,有许多成功案例。

 

下述装置是成功交付的实例之一。

 

浸涂机

浸涂机

浸涂机

浸涂机

特征

可同时对多个工件进行涂布,即使是在复杂的凹凸形状上也同样能够保持均匀性。

处理罐具有自动温度调节功能,可使工艺的重要管理项目即涂层材料的粘度和温度保持恒定。

交货装置规格示例

项目
制造实况
工件材质
玻璃
工件厚度
0.5~0.7mm
工件尺寸
~450mm×500mm
主要化学药品
有机光刻胶
处理能力
约22,800sheet/月
生产节拍
约480秒/5片
标准交货期
4个月
安全对策
自动灭火器
运行方法
手动运行
控制方法
继电器控制
标准
JIS标准
 

喷涂机

喷涂机

特征

由于采用喷涂方式涂布,可处理平面/立体形状的细小形状的工件。

 

由于可非接触性地涂布在基材上,因此不易发生蚀穴等不良现象,可通过喷洒控制选择单面/双面涂布。

交货装置规格示例

项目
制造实况
工件材质
玻璃
工件尺寸
最大36英寸×58英寸
主要化学药品
有机光刻胶
标准交货期
4个月
安全对策
各处设有联锁
运行方法
自动运行
控制方法
PLC控制
标准
JIS标准

咨询方式:

电话:+81-90-1448-8699

营业时间 8:30~17:15 (UTC+9)

咨询表格

如果您着急请点击这里
よくある質問
お問い合わせ
PAGETOP
Copyright © NSC ENGINEERING CO.,LTD. All Rights Reserved.