涂布装置
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什么是涂布装置？
光处理工序示例
是在玻璃、半导体晶片、金属薄膜等基材上，对涂敷象物进行制膜的装置，其方法大致分为湿式涂布和干式涂布。
【湿式涂布】是涂布光刻胶液或热熔粘接材料等液体材料的方法，代表性的装置列举如下。
- ・浸涂机
- ・喷涂机
- ・悬涂机
- ・辊涂机
- ・狭缝涂布机
【干式涂布】是一种在真空中制膜的方法，有蒸镀装置和喷涂装置。
本公司至今为止制造了很多湿法类光刻胶涂布装置。不仅仅是涂布装置，我们同时从事配套前处理装置及投入/取出装置的复合生产线的制造，有许多成功案例。
下述装置是成功交付的实例之一。
浸涂机
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特征
可同时对多个工件进行涂布，即使是在复杂的凹凸形状上也同样能够保持均匀性。
处理罐具有自动温度调节功能，可使工艺的重要管理项目即涂层材料的粘度和温度保持恒定。
交货装置规格示例
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项目
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制造实况
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| 工件材质 |
玻璃
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| 工件厚度 |
0.5～0.7mm
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| 工件尺寸 |
～450mm×500mm
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| 主要化学药品 |
有机光刻胶
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| 处理能力 |
约22,800sheet/月
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| 生产节拍 |
约480秒/5片
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| 标准交货期 |
4个月
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| 安全对策 |
自动灭火器
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| 运行方法 |
手动运行
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| 控制方法 |
继电器控制
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| 标准 |
JIS标准
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