DES生产线装置
现介绍光刻行业中经常听到的“DES生产线装置”。
大部分网站仅仅局限于记述其功能，很少有网站深入记述其优缺点，因此如果您觉得本介绍有参考价值，我们将很荣幸。当然本公司也在制作此装置。
什么是DES生产线？
具备显影、蚀刻、剥离功能的一体型生产线装置。重点是这三道工序可在一个装置上完成。
该名称来自显影【Developing】、蚀刻【Etching】、剥离【Stripping】三个英语单词的首字母。
让我们来看一下每道工序的特征。
显影（Developing）
在光加工应用中，显影是曝光后的工序。
溶解除去必要部分外的光刻胶，形成光刻胶的图案图像。
有浸入显影液的“浸涂法”和喷雾器喷涂的“喷雾法”，从显影液供给效率上看，一般多使用喷雾法。
冲洗显像后立即进行称为后烘烤的加热处理。
通过后烘烤处理使光刻胶膜硬化，因此可获得对下一工序蚀刻液的抗蚀性，并且提高与基板的密接性。
蚀刻（Etching）
蚀刻是显影后的工序。
使用适合金属材料（产品）的蚀刻液，连续输送的同时用喷雾式喷涂，进行大量且均匀的蚀刻处理。
因此蚀刻液的管理非常重要，作为附带设备安装了蚀刻液自动分析装置，根据反馈的各种成分分析自动供给各种药液，使蚀刻速率保持一定。
剥离（Stripping）
剥离是蚀刻后的工序。
蚀刻处理后溶解除去废弃的光刻胶膜。
根据光刻胶的种类，一般使用加热至40～80℃或100℃左右的氢氧化钠。
特殊光刻胶，有时也会使用二甲苯、酒精类、酮类等的混合溶剂。
只是浸涂不能剥离时，则需要施加刷和喷洗等物理方法进行剥离。剥离后立即用纯水清洗、再进行干燥、防锈处理。
DES生产线的优缺点
DES生产线的优点
- 装置的占用面积更小。
- 投入口（LD）与取出口(ULD）各只有一个，可以由最少的人数操作。
- 比购买3台各工序独立装置更经济。
DES生产线的缺点
- 装置的处理节拍由最慢工序的速率决定。
- 产品出现缺陷时，较难确定是哪个工序造成的。
- 不适用于加工条件变化较大的各类产品。
- 不适用于评价、选定光刻胶种类及膜厚度的研究开发型用途。
从上述各项分析得出
例如，可以说面向类似薄膜电路基板生产线等固定用途，光刻胶、显影液、蚀刻液、剥离液的组成及使用条件也固定的批量生产装置。
本公司的DES生产线装置
显影、蚀刻、剥离一体型装置的规格示例
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项目
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内容
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|---|---|
| 用途 | 薄膜蚀刻用 |
| 工件材质 |
不锈钢、铜、铝
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| 工件宽度 |
宽幅600mm
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| 主要药液 |
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| 主要功能 |
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DES生产线的特征
兼具显影、蚀刻、剥离三种功能的自动装置。
产品材料、使用药液、处理时间等明确时，可实现占有面积最小、低价格制作生产。
由于酸和碱同时在一个装置中使用，我们在设计、制造上采取了全面彻底的安全措施。
