显影机
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显影
显影液
显影工序
化学药液供给设备
立起输送型显影装置
水平输送型显影装置
浸渍式显影装置
悬挂式显影装置
手动显影装置
显影
显影工序是指在曝光工序中,在涂敷了光刻胶的印刷基板或玻璃基板上烧结图案后,溶解不需要的光刻胶(仅保留必要的图案部分光刻胶),使其在下一工序中不被蚀刻。
本公司产品阵容包括从显影机单体到与二次加热一体化的成套联机设备等多种产品规格。
显影液
根据工件和光刻胶的不同,多使用碱水溶液和有机溶剂类显影液。
显影工序
显影工序主要按照以下流程进行。
在显影工序中,目的是溶解不需要的光刻胶,仅保留必要的图案部分的光刻胶。
曝光后进行显影前,为了使光刻胶中含有的水和有机溶剂成分干燥,让显影工序更为顺利地进行,有时会加入被称之为一次加热的一道工序。
显影后,可能会附着很多水分或显影液成分。为了通过干燥除去这些成分,有时候会在其间加入二次加热的工序,然后再进行蚀刻。
本公司还结合客户的需求,设计装载卸载机构,以便能够顺利地完成前工序、后工序之间的交接。
化学药液供给设备
在顺利进行显影的基础上,还需要保持显影液的稳定。显影液的浓度、温度、及其补充等方面如果能够保持在最佳条件,则会产生品质稳定的效果。
本公司在设计显影机时,根据需要,提出化学药液供给设备的方案。
立起输送型显影装置
立起输送型显影装置的特征
平放投入的工件,通过立起机构立起约80度,在此状态下进行输送。
从显影、清洗直到干燥,全部进行连续处理。
结合工件尺寸和所用化学药液进行设计。
立起输送型显影装置的交货装置规格示例
项目
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制造实况
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---|---|
工件材质 |
玻璃
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工件厚度 |
1.8~2.8mm
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工件尺寸 |
L=2333mm、W=1663mm
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主要化学药品 |
碱类显影液
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生产节拍 |
约75秒
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标准交货期 |
4个月
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安全对策 |
各处设有联锁
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运行方法 |
自动运行
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控制方法 |
PLC控制
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标准 |
JIS标准
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水平输送型显影装置
水平输送型显影装置的特征
通过水平输送工件进行显影处理的装置。
从显影、清洗直到干燥,全部进行连续处理。
结合工件尺寸和所用化学药液进行设计。
水平输送型显影装置的交货装置规格示例
项目
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制造实况
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---|---|
工件材质 |
玻璃
|
工件厚度 |
1.8~2.8mm
|
工件尺寸 |
L=1700mm、W=2300mm
|
主要化学药品 |
碱类显影液
|
生产节拍 |
约75秒
|
标准交货期 |
4个月
|
安全对策 |
各处设有联锁
|
运行方法 |
自动运行
|
控制方法 |
PLC控制
|
标准 |
JIS标准
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浸渍式显影装置
浸渍式显影装置的特征
用浸渍方式进行显影处理的装置。
另配备化学药液供给设备,可稳定补充显影液。
结合工件尺寸和所用化学药液进行设计。
浸渍式显影装置的交货装置规格示例
项目
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制造实况
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工件材质 |
玻璃
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工件厚度 |
5.0mm
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工件尺寸 |
32×28英寸
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主要化学药品 |
碱类显影液
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标准交货期 |
3个月
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安全对策 |
各处设有联锁
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运行方法 |
半自动运行
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控制方法 |
PLC控制
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标准 |
JIS标准
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悬挂式显影装置
悬挂式显影装置的特征
它是一种将产品悬挂在衣架上并执行连续自动显影处理的设备。
从显影、清洗直到干燥,全部进行连续处理。
结合工件尺寸和所用化学药液进行设计。
悬挂式显影装置的交货装置规格示例
项目
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制造实况
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---|---|
工件材质 |
玻璃
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工件厚度 |
根据处理条件
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工件尺寸 |
350×600mm
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主要化学药品 |
碱类显影液
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标准交货期 |
4个月
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安全对策 |
各处设有联锁
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运行方法 |
半自动运行
|
控制方法 |
PLC控制
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标准 |
JIS标准
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手动显影装置
手动显影装置的特征
手动或半自动操作的显影装置。
因为是一张一张的处理,所以适合少量生产和试制品处理等。
手动显影装置的交货装置规格示例
项目
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制造实况
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---|---|
工件材质 |
玻璃
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工件厚度 |
5.0mm
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工件尺寸 |
32×28英寸
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主要化学药品 |
碱类显影液
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处理能力 |
1张/次
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标准交货期 |
1个月
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安全对策 |
各处设有联锁
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运行方法 |
半自动运行
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控制方法 |
PLC控制、继电器控制
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标准 |
JIS标准
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可以提供的其他装置
根据客户的各种场景进行设计制造。
项目
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制造实况
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处理基质 |
不锈钢,42合金,DFR,PET,玻璃
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显影液 |
TMAH,碳酸钠等
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